第六十三章 前沿
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“波长在200纳米至350纳米的光线被称为深紫外线,目前大多数的研究,多是围绕着深紫外线开展!对于更短波长的紫外线利用,目前还没有明确稳定技术!”
光刻机以光为刃,扮演的角色就好比拍照时的相机。它通过使用光线把设计好的电路图案精准地“拍”到硅片上。极紫外光,由于波长极短,所以能刻画出更小的芯片特征尺寸,因而成了制造7纳米及以下先进制程芯片。
深紫外线在光刻分辨率上的性能,... 目标编号035
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